氟化氢分子量为20,理论上比空气(29)轻,但在实际工业环境中,HF极易与水蒸气结合形成酸雾,且受温度、压力影响,绝大多数工程规范按"比空气重"处理,即:
安装高度:距地面 30~60 cm,传感器朝下。
若现场存在明显热源或强通风导致气体上升,则调整至距顶棚 30~60 cm 处。
| 优先区域 | 具体位置 | 原因 |
|---|---|---|
| 储罐区 | 罐体底部四周、管道连接处 | HF泄漏后易沉积低处 |
| 管道系统 | 法兰、弯头、阀门附近 | 接头处最易泄漏 |
| 工艺设备 | 蚀刻机、反应釜排气口下方 | 捕捉工艺逸散 |
| 通风不良区 | 车间角落、泵房内 | 气体易积聚 |
| 疏散通道 | 距地面40cm墙面 | 保障人员安全 |
露天安装时,应位于主导风向的下风侧,距离释放源5m以内,并加装透气防水罩。
| 禁止项 | 具体要求 |
|---|---|
| ❌ 蒸汽/油烟直吹 | 厨房、锅炉房附近不行 |
| ❌ 强通风口 | 给气口、换气扇、房门旁不行——气体被快速稀释,检测失效 |
| ❌ 高湿度 | 相对湿度 ≥95%RH 时传感器可能受潮失效 |
| ❌ 极端温度 | 长期低于 -40℃ 或高于 65℃(部分型号70℃)会损坏设备 |
| ❌ 强电磁场 | 电机、变频器旁避免电磁干扰 |
| ❌ 阳光直射/雨水淋湿 | 加速设备老化 |
| 项目 | 要求 |
|---|---|
| 线缆 | 三线制(电源+、信号、电源-),必须用屏蔽电缆(RVVP 3×0.75或以上) |
| 接地 | 屏蔽网单端接地,强制接地防止静电积聚 |
| 走线 | 电源线与信号线避免平行,交叉保持90°;信号线穿金属管或防爆软管 |
| 防爆场所 | 必须选用防爆型(ExdⅡCT6),传感器朝下固定、密封外盖,电缆穿金属管 |
| 供电 | DC 12V~30V 或 DC 24V,电压稳定,严禁带电开盖操作 |
| 周期 | 事项 |
|---|---|
| 每3~6个月 | 校准传感器(电化学式),用 PTFE 管路 + 316L不锈钢减压器,通气流量约 1000 mL/min |
| 定期 | 清洁探头外壳,避免灰尘/油污堵塞 |
| 2~3年 | 更换传感器(到期或故障时立即换) |
| ⚠️ | 校准用减压器和管路不可与 H₂S、SO₂ 等还原性气体混用;传感器不可接触硅类化合物,会导致中毒失效 |